一、CMOS閂鎖效應及其影響
CMOS閂鎖效應(Latch-up)是CMOS晶片中的一種潛在故障。由于寄生的NPN和PNP三極管相互導通,會在電源VDD和地VSS之間形成低阻抗通路,導致大電流通過芯片,有造成永久性損壞的風險。這種效應通常由靜電放電(ESD)、瞬態電源干擾等特定電壓或電流條件觸發,會導致電路在電源與地之間形成短路,使電路承受遠大于正常工作電流的沖擊,可能迅速燒毀電路。
二、CMOS閂鎖效應原理
CMOS工藝中形成的寄生雙極晶體管結構是閂鎖效應的核心原因。在PMOS中,源和漏的重摻雜p+型有源區、N阱(N-Well)擴散區和P型襯底(P-sub)會形成縱向寄生的PNP結構;在NMOS中,則形成橫向寄生的NPN結構。正常情況下,這些寄生晶體管處于截止狀態,不會影響電路。然而,當外部條件(如電壓過沖、靜電放電等)導致其中一個寄生晶體管的集電極電流突然增大到一定值時,該晶體管導通,并通過正反饋機制觸發另一個寄生晶體管導通,從而在VDD和VSS之間形成低阻抗通路,引發大電流。


三、CMOS閂鎖效應的產生原因
電壓過沖:當輸出端(Vout)的電位過沖超過VDD一定值(如0.7V)時,PNP寄生晶體管會導通,進而觸發正反饋機制,導致閂鎖效應的發生。
靜電放電(ESD):靜電放電現象會在瞬間產生高壓,可能使輸出端電位遠高于VDD,導致NPN和PNP寄生晶體管同時導通,形成閂鎖。
電源干擾:瞬態電源干擾也可能導致器件管腳的電壓超過電源電壓或低于地,從而觸發閂鎖效應。
電感感應回沖:快速變化的電流在電感上會產生感應電動勢,這種感應電動勢可能通過電路耦合到器件管腳,導致電壓過沖或下沖,進而觸發閂鎖。
四、CMOS閂鎖效應解決措施


(一)工藝制造角度
采用淺槽隔離技術(STI)、SOI工藝技術、倒摻雜阱技術和外延技術等手段來減小寄生電阻和電容,降低閂鎖效應的風險。這些技術能夠優化晶片的內部結構,減少寄生參數的影響,提高晶片的抗閂鎖能力。
(二)版圖設計角度
使用Guardring(保護環)來隔離敏感區域,減少寄生效應的影響。保護環是一種在版圖設計中用于隔離不同電路區域的結構,通過在敏感區域周圍設置保護環,可以有效阻擋寄生效應的傳播,保護電路的正常工作。
確保電源線和地線足夠強壯,并打滿Contact孔以降低電阻。這樣可以減少電源線和地線上的電壓降,提高電路的供電穩定性,降低因電源線和地線電阻引起的閂鎖風險。
注意將NMOS和PMOS拉開一定距離以降低觸發閂鎖的可能性。合理布局NMOS和PMOS的位置,增加它們之間的間距,可以減小寄生晶體管之間的相互影響,降低閂鎖效應發生的概率。
(三)電路設計角度
在電路電源或地變動較大的電路附近增加相關耦合電容以穩定電壓。耦合電容可以在一定程度上吸收電路中的瞬態電壓變化,穩定電源和地的電壓,減少電壓波動對電路的影響,從而降低閂鎖效應的發生風險。
在PAD附近增加保護二極管以防止靜電放電對電路的影響。保護二極管可以在靜電放電發生時,為靜電電流提供一個低阻抗的放電路徑,避免靜電電壓沖擊電路,保護電路免受靜電損壞。
在電路的主通路上串聯大電阻以限制電流的大小。大電阻可以限制電路中的最大電流,防止過大的電流通過芯片,降低因大電流引起的閂鎖效應風險,同時也有助于保護其他電路元件免受過流損壞。
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